Die Herkunft der Partikel lässt sich durch eine Typisierung der Materialklassen präzise ermitteln. Nur so können Sie die Quellen der Verunreinigung gezielt aus dem Fertigungsprozess eliminieren.
SEM-EDX-Analyse automatisch
Vorteile
Bei dieser Methode werden Geometrie und Material der Partikel kombiniert und vollautomatisch analysiert. Das Verfahren erlaubt eine sichere Größenvermessung auch von kleinsten Teilchen < 1 µm mit hoher Genauigkeit.
Verfahren
Größe und Form der Partikel werden mittels Raster-Elektronenmikroskopie (SEM) durch Bildgebung bestimmt. Gleichzeitig wird die chemische Zusammensetzung jedes Teilchens durch Röntgenelementanalyse (EDX) ermittelt. Die Typisierung der Partikel in Materialklassen erfolgt durch Vergleich der Ergebnisse mit einer Datenbank.
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Weiterführende Links
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