«Gehen Sie den Schmutzquellen auf den Grund»

Die Herkunft der Partikel lässt sich durch eine Typisierung der Materialklassen präzise ermitteln.
Nur so können Sie die Quellen der Verunreinigung gezielt aus dem Fertigungsprozess eliminieren.

SEM-EDX-Analyse automatisch

 

 

 

 

 

SEM-Bild und EDX-Spektrum (Siliziumoxid)

Vorteile

Bei dieser Methode werden Geometrie und Material der Partikel kombiniert und vollautomatisch analysiert. Das Verfahren erlaubt eine sichere Größenvermessung
auch von kleinsten Teilchen < 1 µm mit hoher Genauigkeit.

Verfahren

Größe und Form der Partikel werden mittels Raster-Elektronenmikroskopie (SEM)
durch Bildgebung bestimmt. Gleichzeitig wird die chemische Zusammensetzung jedes Teilchens durch Röntgenelementanalyse (EDX) ermittelt. Die Typisierung der Partikel
in Materialklassen erfolgt durch Vergleich der Ergebnisse mit einer Datenbank.

Beispielanalyse als PDF herunterladen (80 kB) Beispielanalyse.pdf

Weiterführende Links

  • Informieren Sie sich über SEM-EDX-Systeme speziell für die Partikelanalytik. Aspex
  • Beauftragen Sie unseren akkreditierten Service mit der Analyse Ihrer Proben. Analysenservice

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Herkunftsbestimmung durch EDX-Typisierung

 

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