Modelle

MiniSIMS-a

• Quadrupol-Spektrometer (QP)

• Masse 3 bis 300 u

• Messzeit pro Spektrum 10 bis 30 s

MiniSIMS-TOF

• Time-of-Flight-Spektrometer (TOF)

• Masse 1 bis >1200 u, höhere Auflösung als QP

• Messzeit pro Spektrum < 1 s

Optionen

• Probenentladung mittels Elektronenkanone

• erweiterte Probenkammer (bis zu 30 Proben im Batch)

Weiterführende Links

Empfohlenes Zubehör

Systeme und Hilfsmittel für die Probenpräparation von South Bay Technology 

Weitere Informationen

Scientific Analyses Instruments, GB im Internet 

Anwendungsgebiete

Bei der Analyse von Beschichtungen, elektronischen Bauteilen, Elektroden, Sensoren, Katalysatoren, Dünnschichten, Korrosion, etc. bietet das MiniSIMS zahlreiche Anwendungsmöglichkeiten.

• Oberflächenanalyse, schnelle chemische Abbildung

• hohe Empfindlichkeit, Nachweis aller Elemente ab Li

• Verbindungen, Moleküle und Organik

• Dotierung, Tiefenprofile von Halbleitern und Dünnschichten

Spezifikationen

Betriebsarten


Primärstrahl
Empfindlichkeit
Probenkammer

Abmessungen

statisch (broad beam)
ortsaufgelöst (chemisches Mapping)
dynamisch (Tiefenprofilierung)
Gallium-Ionenquelle
unterer ppm-Bereich und besser
größte Probenabmessung Ø 100 mm
Mehrfachhalter bis 31 Proben Ø 12 mm
110 cm breit, 63 cm tief, 70 cm hoch

MiniSIMS von SAI

Das MiniSIMS ist ein wirtschaftliches Tischgerät, das alle gewohnten SIMS-Funktionen in einem System vereinigt. Es wird verwendet zur Charakterisierung von Oberflächen und Tiefenprofilen, zur Messung von Verunreinigungen und Dotierstoffen sowie zum Nachweis leichter Elemente, Verbindungen und Organik. Die einfache Handhabung erlaubt eine Einarbeitung innerhalb weniger Tage und setzt kein SIMS-Expertenwissen voraus.