COXEM KOMPAKTER IONENPOLISHER

Innovatives Ionenstrahlätzsystem für die SEM-Zielpräparation

Schneiden und Polieren

Kompakte Ionenpolisher IP-10K

Ion Mill / Cross Section Polisher Coxem CP8000 Plus
  • Ätzrate: 1000 µm/h (auf Si bei 8 kV)
  • Hochspannung variabel 2-8 kV
  • Arbeitsgas: Argon
  • Digitalmikroskop zur Ausrichtung der Probe
  • In-Chamber Mikroskop zur Überwachung des Ätzstrahls

Schneiden (Cross-Sectioning)

Coxem Ion Milling Schematic
  • größte Probe: 20 × 10 × 5.5mm oder 16 × 10 × 9.5mm (L x B x H)
  • motorisierte Bühne: X: ± 3.5 mm / Y: ± 2 mm
  • motorisierter Swing: +/- 35°

Polieren (Flat Milling)

  • größte Probe: Ø32 x 18 (H) mm
  • Winkel variabel zum Ätzstrahl: 10-90°

Cooling Modul

  • Peltier-type Probenkühlung (bis -20°C) für sensitive und hitzeempfindliche Proben

Air-Protection Modul

  • sicherer Probentransport zwischen IP-10K und SEM für luftempfindliche Proben (z.B. Batterieanwendungen)

Ionenpolisher IP-8K

  • für reine Querschnittsanwendungen (Cross-Sectioning)  steht das kleinere Schwerstermodel IP-8K zur Verfügung
  • Ätzrate: 700 µm/h (auf Si bei 8 kV)
  • weitere Spezifikationen identisch zu IP-10K

Video

Funktionsweise COXEM IP-10K

Die Marke Coxem erfreut sich weltweit zunehmender Beliebtheit und steht für kompakte SEM-EDX-Geräte mit hervorragendem Preis-Leistungs-Verhältnis.

Die neuste Entwicklung des koreanischen Teams von Coxem ist das Ionenstrahl-Ätzgerät IP-10K, das über Touchscreen einfach und intuitiv bedient werden kann. Mit diesem Gerät gelingt auch Anfängern die SEM-Zielpräpration!

Das Gerät überzeugt durch intelligente Probenhalter, die durch Magnetveschluss auf der Bühne fixiert werden. Eine HD-Kamera erlaubt es, den Ionenstrahl-Ätzvorgang live zu beobachten, wodurch die Sicherheit bei der Zielpräparation verbessert wird. Ihre indivuellen Rezepte können Sie in einer internen Datenbank zur späteren Verwendung speichern.

Anwendungsbeispiele