In der Bauteilsauberkeit gilt: die härtesten Partikel richten den größten Schaden an. Die Schwierigkeit besteht jedoch darin, diese Killerpartikel zu finden, denn sie können so klein sein, dass sie mit einem Lichtmikroskop nicht zu erkennen sind. Das SEM-EDX Rasterelektronenmikroskop bestimmt die Härte sowie die Herkunft von Partikeln und misst auch kleinste Teilchen unter 1 µm sehr präzise durch Abtasten mit dem Elektronenstrahl.
Die Abbildung zeigt die elektronenmikroskopische Darstellung eines Korundpartikels mit Elementspektrum, aufgenommen mit einem SEM-EDX. Der Korund ist ein Oxid des Aluminiums und wird meist als Schleif- und Strahlmittel verwendet. Mit der Moh’schen Härte 9 ist er ein besonders hartes Mineral und zählt damit zu den gefürchteten Killerpartikeln. Die weißlichen Korundpartikel sind in der Regel nur < 20 µm groß, eine Klassifikation ist daher nur mit dem SEM-EDX möglich.
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