Vor kurzem haben wir die Firma Bruker Nano bei der weltweit ersten Inbetriebnahme eines Kompakt-EBSD-Systems auf unserem Coxem Tabletop SEM-EDX unterstützt. Die Installation verlief dank guter Vorbereitung reibungslos und bereits nach einer Stunde konnten wir die ersten EBSD-Mappings aufzeichnen. Dieser Test bedeutet für Bruker und Coxem einen wichtigen Schritt hin zur Kommerzialisierung der EBSD-Technologie für SEM-EDX-Tischgeräte.
Elektronenrückstreubeugung (englisch Electron Backscatter Diffraction – EBSD) liefert Linienmuster (sog. Kikuchi-Pattern), welche die kristallografische Orientierung der untersuchten Probenbereiche wiedergeben. Als Testobjekt wurde handelsübliche Aluminiumfolie verwendet und eine Fläche von ca. 40 µm x 80 µm über einen Zeitraum von einer Stunde vermessen.
Besonders beindruckt hat uns die Stabilität des Elektronenstrahls während der gesamten Akquisitionszeit, was bei größeren Laborstandgeräten nicht immer selbstverständlich ist. Auf dieser vergleichsweisen komplizierten Probe konnten wir vielversprechende Ergebnisse sammeln, welche die Realisierbarkeit der EBSD-Anwendungen im kompakten Tischformat bestätigen.
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- Halbautomatische Korngrößen- und Formverteilungsanalyse
- Quantitative Analyse von Mikrostrukturen und Teilbereichen
- Bestimmung des Flächen- oder Volumenanteils von verformten oder rekristallisierten Körnern
- Korngrenzenanalyse
- Phasenidentifikation und Phasenverteilungsanalyse
- Korrelation chemischer und kristallographischer Ergebnisse
- Orientierungsverteilungsanalyse – kristallographische Texturanalyse
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- SE – Sekundärelektronenmikroskopie für Bildgebung nach Topographie und Morphologie
- BSE – Rückstreuelektronenmikroskopie für Bildgebung nach Materialkontrast
- EDX – Röntgenelementspektroskopie
- STEM – Transmissionselektronenmikroskopie
- ESBD – Elektronenrückstreubeugung für kristallografische Orientierung
- Sputter – Probenbeschichtung für Leitfähigkeit
- Cooling Stage – Probenkühlung für vakuuminstabile Proben
- Niedervakuum – Entladung nicht leitfähiger Materialien
- Cross-Section Polisher – Oberflächenpolitur
