SEM-EDX LEITFADEN FÜR KÄUFER

Kapitel 4 - Elektronenquellen und Hochspannung

Wolfram- und CeB6-Filamente

Klassischerweise gibt es für Tisch- und kompakte Laborstandgeräte die Strahlerzeugung durch CeB6 oder Wolfram-Filamente. Beide Technologien liefern eine vergleichbare Auflösung. Allerdings bieten CeB6-Filamente eine 15-20-fach längere Lebensdauer und höhere Strahlintensität, was gerade bei Bildgebung mit niedriger Spannung ein erheblicher Vorteil für das Signal-zu-Rausch Verhältnis ist. Für die Lebensdauer einer Wolfram-Kathode gilt gemeinhin ein Richtwert von 100 Betriebsstunden und für die CeB6-Kathode 1500-2000 Betriebsstunden. Ferner unterliegen CeB6-Filamente einer graduellen Abnutzung, bei welcher das Ende der Lebensdauer absehbar und der Kathodentausch planbar ist. Wolfram-Filamente hingegen brennen ohne Vorwarnung durch, was im ungünstigsten Fall bei längeren automatischen Analysen zu einer Wiederholung der gesamten Messung führt. Wolframkathoden können durch einen geschulten Anwender selbstständig getauscht werden, wohingegen dies bei CeB6-Kathoden in der Regel ein Servicemitarbeiter übernimmt.

Niedrige Spannungen unter 10 kV

Bei empfindlichen Proben ist die Einstellung der Beschleunigungsspannung unter 10 kV ein essentieller Parameter, da die Probe bei hohen Energien zerstört wird. Weiterhin können feine Strukturen bei zu hoher Beschleunigungsspannung überstrahlt und dadurch unscharf werden.

Achten Sie bei der Wahl eines SEM-Gerätes darauf, wie flexibel sich die Hochspannung einstellen lässt und wieviel Signal bei geringen Spannungen noch vorliegt. Einige Tischgeräte bieten Einstellmöglichkeiten in 1 kV-Schritten, andere wiederum nur voreingestellte Niveaus für 5 kV, 10 kV und 15 kV.