IDENTIFIZIERUNG VON PARTIKELN

Vollautomatische SEM-EDX-Analyse von Restschmutzpartikeln nach Material & Härte
SEM-EDX vollautomatisch
Funktionsprinzip

Bei dieser Methode werden Größe und Material der Partikel in einem einzigen Schritt automatisch analysiert. Durch die feine Abtastung mit dem Elektronenstrahl können auch kleinste Teilchen unter 1 µm mit hoher Präzision gemessen werden. Die Kenntnis von den Partikel-Werkstoffen erlaubt eine sichere Bestimmung der Herkunft. Dadurch können Schmutzquellen aus dem Prozess gezielt eliminert werden.

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Das Bildschirmvideo zeigt eine laufende Partikelanalyse mit dem Aspex Explorer. Links ist die mikroskopische Abbildung der Membrane zu sehen, die in quadratische Felder unterteilt ist. Die im gelb markierten Feld detektierten Partikel werden auf der rechten Seite grün eingezeichnet.

Für jedes detektierte Teilchen wird ein EDX-Spektrum aufgezeichnet und im unteren Bereich des Bildschirms dargestellt. Das Spektrum beinhaltet die Zusammensetzung des Partikels, aus der die Materialklasse mittels unserer Datenbank abgeleitet wird. Aufgrund der hohen Zählrate des Detektors beträgt die Messdauer pro Teilchen ab 0,2 Sekunden. Damit sind schnelle Analysen großer Partikelensembles garantiert.

Partikelanalyse nach Material- & Härteklassen

Die Bestimmung der Partikelhärte ist die wichtigste Anwendung der SEM-EDX-Methode neben der Herkunftsanalyse von Restschmutzpartikeln. Je härter das Partikel, desto größer dessen Schädigungspotential. Die Messung der Partikelhärte funktioniert durch SEM-EDX auf indirektem Weg. Die präzise Einordnung des Partikels in eine Materialklasse erlaubt den Rückschluss auf die Härteklasse.

Organische Partikel

Die Molekülspektroskopie ist prädestiniert für die Identifizierung organischer Partikel und filmischer Verunreinigungen.

Aufgrund der Fähigkeit, viele Partikel automatisch zu untersuchen, hat sich darüber hinaus die SEM-EDX-Methode bei der Analyse organischer Verschmutzungen bewährt. Um den Kontrast zu heben, werden die Partikel auf eine Metallmembrane präpariert. Durch die Analyse der Partikel im Dreistoffdiagramm der Elemente können organische Werkstoffgruppen zielsicher erkannt werden.

Das nachfolgende Beispiel zeigt die Analyse einer organischen Verschmutzung. Durch die Auswertung im Dreistoffdiagramm (Kohlenstoff, Sauerstoff, Stickstoff) konnte gezeigt werden, dass im Partikelensemble die Kunststoffe PU und PA dominieren.

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