SEM-EDX LEITFADEN FÜR KÄUFER

Kapitel 2 - Vergrößerungsfaktor und Auflösungsvermögen
Vergrößerungsfaktor

Hersteller spezifizieren häufig die Vergrößerung als Qualitätsmerkmal für das Auflösungsvermögen ihrer SEM-Instrumente. Die Vergrößerung ist das Verhältnis der tatsächlichen Größe eines Objektes zu dessen Abbildung. Damit hängt der Zahlenwert von der Größe des Bildschirms ab und ist grundsätzlich nicht eindeutig anzugeben.

Weiterhin sagt die Vergrößerung nichts über die tatsächliche Qualität der Abbildung kleiner Strukturen aus. Ab einem bestimmten Punkt liefert das immer feinere Abtasten mit dem Elektronenstrahl keinen informativen Mehrwert mehr, da aufgrund der beschränkten Auflösung der Elektronenoptik keine zusätzlichen Details visualisiert werden können.

Reales Auflösungsvermögen

Die Auflösung ist ein objektives Maß und bezieht sich auf die Fähigkeit des Mikroskops, feine Strukturen abzubilden. Bei Tabletop-SEM und Kompaktgeräten liegt die beste Auflösung zwischen 3 und 20 Nanometern.

Die Auflösung wird unter standardisierten, aber praxisfernen Betriebsbedingungen ermittelt. Damit ist für den Käufer ein gewisses Enttäuschungspotential gegeben, da die angegebene Auflösung bei realen Proben kaum zu erreichen ist. Immerhin ist die Auflösung ein eindeutiger Parameter, der dazu geeignet ist, die Abbildungsqualität verschiedener SEM-Instrumente miteinander zu vergleichen.

In der Praxis ist es oft wichtiger, die Auflösung an die konkrete Probe anzupassen. Eine variable Blendengröße (Apertur) hilft dabei, eine optimale Auflösung bei größtmöglichem Strahlstrom zu erreichen. Dies ist unerlässlich für eine zügige und rauscharme Bildgebung sowie für die Röntgen-Elementanalytik.

Sehen heißt Verstehen

Lassen Sie sich das Auflösungsvermögen bei einer Vorführung demonstrieren - am besten mit Ihren Proben. Durch den unmittelbaren Vergleich erhalten Sie ein gutes Gefühl dafür, welche Qualität in der Praxis erreichbar ist.

SE-Bild eines Filtermediums mit 200 nm Poren (Coxem EM-30 Plus)

de_DEDE
en_USEN de_DEDE